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2022-5-6MPCVD設(shè)備在沉積金剛石膜的工藝方面有什么共性？
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2022-5-6MPCVD設(shè)備的結(jié)構(gòu)基本組成有哪些？
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2022-5-6MPCVD法相比其他等離子cvd法有什么優(yōu)勢(shì)？
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2022-5-6什么是mpcvd？
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2022-5-6為什么微波等離子體cvd法被認(rèn)為是最理想的沉積金剛石的方法？
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資訊動(dòng)態(tài)
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mpcvd即Microwave Plasma Chemical Vapor Deposition的單詞縮寫，中文意思為微波等離子體化學(xué)氣相沉積。MPCVD設(shè)備適合高品質(zhì)單晶金剛石、多晶金剛石的批量生長(zhǎng).多種薄膜的CVD制備、材料表面處理和改性、低溫氧化物的生長(zhǎng)等。
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